ISSM戦略フォーラム 2017

会期 ● 12月13日（水） 13:00-17:30

会場 ● TFTビル 9-A会議室（東京都江東区有明）

主催 ● ISSM (International Symposium on Semiconductor Manufacturing)

共催 ● (一社)日本半導体製造装置協会（SEAJ）/ SEMI / (一社)日本電子デバイス産業協会（NEDIA）

定員 ● 100名（招待制・事前登録要）

アナログ・センサ・通信などIoT関連や、多数のセンサを搭載した自動運転車、多機能スマートフォンなどに牽引され、 長期低落へ向かうと思われていた200mmファブの需要が復活しつつあります。DRAM全盛時代に建設された200mm以下のファブが世界で一番多く残存している日本では、生産技術的な延命や大量多品種対応の生産システムでこの波を維持するのかで、岐路に立っています。 この戦略フォーラムでは、レガシーファブの生産技術革新の観点からその活用可能性を議論します。６，８インチファブの経営方針に関わる技術責任者、技術企画部門技術者（ファブ戦略の立案、装置技術、プロセス技術）の方には見逃せないフォーラムです。

申込 ● https://issm-strategic-forum.jimdo.com

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アジェンダ

コーディネータ   オムロン オートモーティブエレクトロニクス品質統括室担当部長  南百瀬勇氏 (ISSM論文委員会幹事)

13:00 開会の辞  ルネサスセミコンダクタマニュファクチュアリング シニアエキスパート 井上修一氏 (ISSM運営委員長)
        
13:05  「６．８インチファブのoutlook」 IHS Markits 日本調査部ディレクター 南川明氏

セッション 「既存装置の延命生産技術」

13:30   レガシーファブが抱える装置延命の課題とその取組み
            ジャパンセミコンダクター  ファクトリー生産技術部部長 谷川元氏

13:45  LSIからMEMSへ  ~レガシーファブでの量産技術~
           オムロン 事業開発本部マイクロデバイス事業推進部野洲工場生産2課課長 中村智史氏

セッション「リファービッシュ生産装置の供給」

14:00  CIP/Upgrade Kitの取組み、200mm再生策装置の生産方法の概要、Renewal装置（仮称）コンセプト紹介
           東京エレクトロン FSBUフィールドソリューション1部Etchプロダクトグループグループリーダー 八木沢昭二氏
           東京エレクトロン FSBUフィールドソリューション1部TPSプロダクトグループグループリーダー 宇城満山氏

14:15  More-Than-Moore 新生代へのチャレンジとチャンス
           アプライドマテリアルズジャパン AGS事業部EPG日本・韓国統括部長 杉山祐一郎氏

14:30  Lam Research 200mm Capabilities, Portfolio and Continued Commitment for 200mm Lines
           Lam Research Japan Customer Support Business Group Sales General Manager 新井広志氏

14:45  休憩

セッション「レガシーファブでの品質作り込み」（ISSM2016のBest Paperより2件日本語講演）

15:00  後工程におけるテスト品質向上―Part Average Testing(PAT)手法の導入
           ISSM 2016 Best Paper Award受賞論文
           ジャパンセミコンダクター 大分事業所製品技術部製品解析技術担当・参事 坂本格氏

15:15  レガシー製品の信頼性向上手法～レイアウトを用いたテストカバレッジで不良流出の危険性を最小化～
           ISSM 2016 Best of the Best Paper Award受賞論文
           ルネサスセミコンダクタマニュファクチュアリング 技術統括部解析評価技術部歩留解析課主任技師 永村美一氏

15:30  新規6・8インチファブ参入のオポチュニティー「中国半導体動向および日本企業の戦略」
           Global Research & Innovative Solutions (GRAINnS) 代表取締役 三重野文健氏

15:55  パネルディスカッション「レガシーファブの覚醒?!　岐路?!」
          モデレーター：ルネサスセミコンダクタマニュファクチュアリング 井上修一氏
          パネリスト：
          IHS Markits 南川明氏
          ジャパンセミコンダクター  谷川元氏
          オムロン 中村智史氏
          東京エレクトロン 八木沢 昭二氏／宇城 満山氏
          アプライドマテリアルズジャパン 杉山祐一郎氏
          Lam Research Corporation 新井広志氏
          Global Research & Innovative Solutions (GRAINnS) 三重野文健氏

17:20  閉会の辞